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イーティーシステムエンジニアリング株式会社は半導体プロセスにおける各種治具から特殊ワーク向け製造装置のコンセプトから製作に至るまでを専門とする製造装置メーカーです。

TEL. 042-654-7151

〒193-0801 東京都八王子市川口町1489-1

マスク分野SERVICE&PRODUCTS

製造プロセス&製造装置

Cleaning

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Drying

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マスク分野 洗浄装置


枚葉洗浄装置 <マルチスピンプリオセッサー MSPU>
高精度な処理を要求されるワークの量産向け、少量多品種、複数プロセス向けに適する装置です。
ワークのケミカル処理から乾燥までの一貫処理が可能

マスク分野 乾燥装置


IPAベーパー乾燥装置
安全性、IPA高効率回収、クリーン度を重視


バナースペース

イーティーシステムエンジニアリング株式会社

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FAX 042-654-7233