ｲｰﾃｨｰｼｽﾃﾑｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式会社は半導体プロセスにおける各種治具から特殊ワーク向け製造装置のコンセプトから製作に至るまでを専門とする製造装置メーカーです。
TEL. 042-654-7151
〒193-0801 東京都八王子市川口町1489-1
枚葉式装置
| マルチスピンプロセッサー ＜ＭＳＰⅠ＞ |
 |
◆特長 ・少量・多品種生産、試作・開発などに適した装置です。 ・ワークのケミカル処理から乾燥まで一貫処理が可能です。 ・フルカスタマイズ対応可能 ・小フットプリント ・搬送の信頼性 ・多段式スピンカップ ・高温薬液用スピンカップ |
| マルチスピンプロセッサー ＜ＭＳＰⅡ＞ |
 |
◆特長 ・高精度な処理を要求されるワークの量産向け、少量多品種、複数プロセス向 けに適した装置です。 ・ワークのケミカル処理から乾燥までの一貫処理が可能です。 ・多様なアプリケーションに対応して自由に各種プロセスユニットを組み合わせ ることが可能な枚葉式スピンプロセッサー。 ・プロセスユニット方式の為、ユニットの増設、入替えにて将来のプロセス変更 にも容易に対応可能。 ・フルカスタマイズ対応可能 ・搬送の信頼性 ・多段式スピンカップ ・高温薬液用スピンカップ |
高温薬液用カップ
200μm厚のピンホールレステフロンコーティングを施します。
装置構成ユニット
| 装置名称 | スピン処理部 | 機能ユニット | オプション |
| 有機剥離 | 有機溶剤処理 | ワーク着座センサ | 比抵抗管理システム |
| メガソニック洗浄 | ＵＶ処理 | ||
| ＬＳＩマスク | ２流体ジェット洗浄 | 薬液ディップ | トレーサビリティ管理システム |
| 端面スクラブ | |||
| 表面スクラブ | |||
| 裏面スクラブ | |||
| ベーク | |||
| ＣＭＰ後洗浄 | 薬液処理 | 水中ローダ | |
| メガソニック洗浄 | 両面スクラブ | ||
| ２流体ジェット洗浄 | Ｎ２イオンブロー | ||
| ＬＥＤ | ブラシスクラブ | Ｎ２イオンブロー | 薬液調合供給システム |
| メガソニック洗浄 | |||
| ＳｉＣウエハ洗浄 | ブラシスクラブ | 端面スクラブ | 薬液調合供給システム |
| 界面活性剤 | ウエハ反転機構 | ||
| 酸処理 | |||
| アルカリ処理 | |||
| スピンエッチャー | 薬液処理 | Ｎ２イオンブロー | 薬液調合システム |
| メガソニック洗浄 | 薬液リサイクル機構 | ||
| ＤＩＷリンス |
ユニット詳細
多関節ロボット
ワークを安全且つ正確に搬送するロボット。
２流体ジェット
洗浄プロセスに使用
Ｎ２イオンブロー
乾燥をアシストする機構
着座センサ
ワークの有無、ワークが正しく置かれているか確認する機構
反転機構
ワークを１８０度反転する機構バナースペース
ｲｰﾃｨｰｼｽﾃﾑｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式会社
〒193-0801
東京都八王子市川口町1489-1
TEL 042-654-7151
FAX 042-654-7260