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ｲｰﾃｨｰｼｽﾃﾑｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式会社は半導体プロセスにおける各種治具から特殊ワーク向け製造装置のコンセプトから製作に至るまでを専門とする製造装置メーカーです。

TEL. 042-654-7151

〒193-0801 東京都八王子市川口町1489-1

ご案内

当社では、お客様のニーズに対応した特殊治具の開発からユニット、システムの開発、設計、試作、製造までお任せいただける技術力が自慢です。
仕様の打合せから費用のご相談まで経験豊富な技術スタッフがお客様の立場に立った対応でご協力いたします。

SERVICE&PRODUCTS開発実績

特殊治具

 スピンチャック  バックシール  その他
 パドル用廻り込み防止型無負荷スピンチャック  エッチング用バックシール  ホットプレート
 メッキ用スピンチャック  ウエハ用バックシール  クールプレート
   ウエハ用バックシール　セット治具  ウエハ自立型プッシャー
   メッキ用バックシール  端面接触型自立プッシャー
   バックシール脱着機  

ユニット関連

 共同開発  自主開発
 ＴＳＶ用自動塗布貼付装置  枚葉式ウエハの歪み取りエッチング装置
 ＴＳＶ用自動剥離装置  温水スローリー型乾燥機
 上下４段塗布装置  無電解メッキ装置
 ウエハ用デベロッパー  
 大型マスクスピンプロセッサー  

※１．多種多様なワーク（丸型・角型）・ワークサイズ・処理プロセスにフルカスタムを致します。

バナースペース


ｲｰﾃｨｰｼｽﾃﾑｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式会社

〒193-0801
東京都八王子市川口町1489-1

TEL 042-654-7151
FAX 042-654-7260
moon@etsystem.co.jp