本文へスキップ

ｲｰﾃｨｰｼｽﾃﾑｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式会社は半導体プロセスにおける各種治具から特殊ワーク向け製造装置のコンセプトから製作に至るまでを専門とする製造装置メーカーです。

TEL. 042-654-7151

〒193-0801 東京都八王子市川口町1489-1

その他製造装置

 ウエハトランスファ  石英管洗浄装置 スラリー供給装置   薬液供給装置
 半田・メッキ装置  砥液供給装置  薬液添加装置  簡易型水スクラバー
 レチクル保管庫  各種治具洗浄装置  ウエハケース保管庫  各種部材保管庫
有機無機 ドラフトチャンバー各種  クリーンベンチ　作業台  治具乾燥装置  水晶振動子自動洗浄装置
 パドル式現像装置  スピンスプレー式パドル現像装置  無電解金メッキドラフト  小型基板洗浄装置
 熱リン酸エッチング装置  大型基板洗浄装置  自動レンズ洗浄装置  

その他周辺装置


薬液供給装置
複数薬液・ＤＩＷの秤量調合に対応
温度調節機能対応

少量生産機向けから量産生産機向け対応
複数薬液供給に対応可能
ご要望に応じたスペックで生産可能

スラリー供給装置
スラリー供給、スラリー希釈調合供給に対応
温度調節供給に対応
薬液濃度管理に対応
簡易乾燥防止機能付
日常メンテナンス性を考慮した構造

石英管洗浄装置
各種石英管の薬液洗浄に対応
タイプにより石英治具の洗浄に対応
複数の薬液比率使用に対応
長尺治具のアクセス性考慮

ウエハトランスファ
卓越した搬送信頼性、表裏面非接触を実現
完全自立かたプッシャー・ウエハ支持機構を採用することにより表裏面非接触で有りながら確実なウエハ支持を実現
多様なカセットに対応
単純移載型、Face　to　Face機構付き　多関節ロボットタイプなど豊富なバリエーション

半田・メッキ装置
電解メッキ対応装置です。
ご要求仕様に応じた仕様・構成で対応します。

バナースペース

ｲｰﾃｨｰｼｽﾃﾑｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式会社

〒193-0801
東京都八王子市川口町1489-1

TEL 042-654-7151
FAX 042-654-7233